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超纯水设备制造技术(附PDF)

半导体的制造、生物医药制造以及精密洗净制程均需要使用大量的超纯水,且随着制程精密度与安全度要求的提高,为确保生产制程之品质,超纯水的纯度与良好的水质管理已成为产业竞争力重要环节。就超纯水水质而言,各种制程所需的超纯水纯度与所要求之水质的差亦不完全相同,为符合各类制程的要求,超纯水的生产经常是各种不同单元之组合技术,其中,经常使用的水处理技术单元包括预处理(如混凝、浮除)、离子交换、反渗透、电透析离子交换、脱气、超虑、UV 杀菌及UV 臭氧氧化等技术,各种技术单元之间的组合,对于水质控制与管理之特性将有所不同。因此,如何由水质管理方面分析选用适当之水质处理技术,将成为高效率的超纯水设备设置的关键。

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